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十一五國家02科技重大專項 2020-03-10     總瀏覽:4764

“300mm極大規模集成電路用Al、Ti、Ta 靶材制造技術研究與開發”項目,列入十一五國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。

 

 

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